集成電路應用高純電子級多晶硅實現中國製造

新能源 能源 國家電投 黃河 人民網 2017-05-26
集成電路應用高純電子級多晶硅實現中國製造

人民網西寧5月24日電5月24日,由中國半導體協會、青海省經濟和信息化委員會主辦,國家電投集團黃河上游水電開發有限責任公司承辦的“集成電路硅材料產業發展座談會”上,傳來了令人振奮的好消息:國家電投黃河新能源分公司生產的“黃河水電多晶硅”,符合集成電路應用的高純電子級多晶硅,打破了中國市場長期由國外壟斷的格局,真正實現了中國製造,打響了民族品牌。

據瞭解,電子級多晶硅是國家發展集成電路產業的戰略原材料,長期以來,生產技術一直由國外壟斷,成為中國發展集成電路產業的瓶頸。通過多年的努力,國家電投黃河新能源分公司建成了國內第一條電子級多晶硅生產線,生產出符合集成電路應用的高純電子級多晶硅。

集成電路應用高純電子級多晶硅實現中國製造

科技研發,佔領晶硅製造制高點

“黃河水電多晶硅”項目採用改良西門子法,年產達2500噸電子級多晶硅,實現完全閉路循環,節能低耗、安全環保。其中,冷氫化四氯化硅轉化率達到國內最高水平;還原爐回收尾氣經處理後,完全實現閉路循環生產;產品後處理採用全程潔淨環境流水線。項目納入中國第一批符合《多晶硅行業准入條件》,併成功申請了《極大規模集成電路製造裝備及成套工藝(02專項)》工作。

專業團隊,全過程質量控制

“黃河水電多晶硅”採用世界一流的標準化專業廠房,具備成熟的潔淨生產技術,進行原輔材料、生產過程以及最終成品的檢測控制。擁有國內唯一一家能夠涵蓋電子級多晶硅材料全部檢測項目的綜合實驗室,獲得國內首家CNAS認可。

突破核心技術,打響民族品牌

經過多年生產實踐,“黃河水電多晶硅”形成了獨有的技術優勢,產品指標達到國際先進水平,其中氧含量

集成電路應用高純電子級多晶硅實現中國製造

目前,高純電子級多晶硅已經得到下游客戶的廣泛認可,該產品用於生產3至8英寸重摻、輕摻拋光片和外延片,經過12英寸拋光片質量評估,與國外產品質量無差異,完全可替代進口產品,“黃河水電多晶硅” 打響了民族品牌。

對於未來,黃河上游水電開發有限責任公司總經理魏顯貴表示,“黃河水電多晶硅”將始終致力於核心技術研發和質量提升,以創新驅動引領未來發展,努力將國內電子級多晶硅市場佔有率提升至30%以上,力爭成為全國重要的集成電路材料生產基地和行業領軍企業。

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